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PicoFemto透射電鏡原位高溫力學測量系統，同時集成了力學測量模塊及MEMS芯片模塊，可以在

對樣品1000 ℃加熱的同時進行定量的力學測量。MEMS芯片模塊上可以選擇加熱芯片，也可以選

擇電學測量芯片。力學測量模塊可以選擇不同載荷的傳感器，滿足不同實驗需求。

該產品實現了透射電鏡中的高分辨定量原位高溫力學研究。

性能指標

 透射電鏡指標：

● 兼容指定電鏡型號及極靴；

● 部分型號電鏡可選雙傾版本，雙傾電學測量樣品桿Y軸傾角±25°;（同時受限于極靴間距）；

力學傳感器指標：

● **載荷100 mN（可選0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力測量實測噪聲優于5nN（0.1 mN**載荷時）；

● 力測量實測分辨率優于5 nN（0.1 mN**載荷時）；

● 自動測量力-距離曲線，自動保存。

加熱指標：

● 溫度控制范圍：室溫至1000 ℃；

● 溫度準確度：優于5%；

● 溫度穩定性：優于±0.1 ℃。

掃描探針操縱指標：

● 粗調范圍：X方向 1.5 mm，YZ 方向2 mm；

● 細調范圍：XY 方向20 um，Z 方向 10 um；

● 細調分辨率：XY 方向 0.4 nm，Z 方向 0.2 nm。

產品特色

（1）很大力學測量及溫度控制范圍；

（2）多場下的力學研究；

（3）穩定性高：輕松獲得大幅度運動中的高分辨像，適用于更廣泛的應用場景和樣品體系；

（4）很長的壽命：種類：實用新型（具備高分辨多維操縱和電學測量的電子顯微

鏡原位樣品桿）的“爪-球”結構探針桿因其獨特的結構設計，是公

認皮實耐用的探針桿；

（5）很低維護成本：設備配套的針尖制備系統可低成本制備針尖耗材。”爪-球“微動結構已實現

模塊化量產，維護成本低；

（6）很大的用戶群：在國內擁有近200個高質量原位用戶，出口到歐美澳等地。每年，用戶會產出

大量高質量研究成果。定期組織各類用戶交流活動，搭建學術平臺供用戶交流；

（7）成熟的技術支持網絡：在安徽、北京、東莞和上海擁有分公司，其他各地擁有若干技術支持

網點，24小時提供技術支持。