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韓國ATI 晶圓檢查機WIND

Wafer inspection system

ITEM Descriptions

視覺：2D， 3D光學模塊，實時自動對焦

檢驗測量項目：

•2D正常&鋸切檢查：裂紋、缺口、顆粒、劃痕、圖案缺陷、污染、NCF空洞、探針標記、殘留等。

•2D凹凸檢查：排錯、殘留、壓痕、丟失、劃痕、異常(攻擊)等。

•2 d測量：圓片邊緣修剪，切口(鋸圓片)，凹凸直徑

•3 d測量：凹凸高度，翹曲，共面性，晶片厚度，BLT

應用程序：200㎜& 300㎜晶片，300㎜& 400㎜環陷害晶片*自由轉換

機架類型：細鋼絲，白色粉末涂層

加載端口：圓片環形盒(8 "，12 ")，圓片盒(FOUP，開口盒)

晶片對齊：200㎜& 300㎜晶片，300㎜& 400㎜環幀定位

自動化：秒/寶石300㎜，半E84， *合規標準

尺寸：1900㎜x 1680㎜x 2100毫米，3.5噸

Vision：2D， 3D Optic Module， Real-time Auto Focus

Inspection &Measurement Items：

• 2D Normal & SawingInspection：Crack， Chipping， Particle， Scratch， Pattern Defect， Contamination， NCF Void， Probe Mark， Residue， etc.

• 2D BumpInspection：Misalign， Residue， Press， Missing， Scratch， abnormal(Attack)， etc…

• 2D Measurement：Wafer Edge Trim， Kerf(Sawing Wafer)， Bump Diameter

• 3D Measurement：Bump Height， Warpage， Coplanarity， Wafer Thickness， BLT

Applications：200㎜ & 300㎜ Wafer， 300㎜ & 400㎜ Ring Framed Wafer * Conversion Free

Frame type：HAIRLINE SUS STEEL， White Powdered coating

LoadPort：Wafer Ring Cassette(8’’， 12’’)， Wafer Cassette(FOUP， Open Cassette)

WaferAlignment：200㎜ & 300㎜ Wafer， 300㎜ & 400㎜ Ring Frame Alignment

Automation：SECS/GEM 300㎜， SEMI E84， * Compliance most of standards

Dimension： 1900㎜ x 1680㎜ x 2100mm， 3.5ton

晶片宏觀檢測

? 利用雙鏡頭系統實現高產能

? 可檢測切割完成后的芯片

? 切縫檢測

? 利用從相鄰的4個晶粒中提取出一個**晶粒，實現D2D高級算法

? 內置驗證檢查模組

? 自主研發的鏡頭，具有視野廣，像素高的特點。

? 采用實時自動對焦模組

? 可選IR檢測，裂縫及硅片內部碎片

- 裂紋檢測

晶片變薄 & 切割領域檢測

- 三維檢測Bump