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SONIX AutoWafer Pro™ 是專為全自動(dòng)晶圓檢測(cè)設(shè)計(jì)的機(jī)型，主要應(yīng)用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞、離層檢測(cè)，TSV量測(cè)方面。

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● 符合一級(jí)凈化間標(biāo)準(zhǔn)

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● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議

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