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Toho FLX-2320-S薄膜應力計
Toho FLX-2320-S薄膜應力計

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日本

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儀器簡介:

應用:

◆各種材質及薄膜應力分析。

◆ 其他型號:FLX-3300 (適用于12”樣片)

技術參數:

Toho FLX-2320-S薄膜應力計精確測量多種襯底材料、金屬和電介質等薄膜應力。

主要特點:

◆雙光源掃描(可見光激光源及不可見光激光源),系統可自動選擇**匹配之激光源;

◆系統內置升溫、降溫模擬系統,便于量測不同溫度下薄膜的應力,溫度調節范圍為-65℃至500℃;

◆自帶常用材料的彈性系數數據庫,并可根據客戶需要添加新型材料相關信息至數據庫,便于新材料的研究實驗;

◆形象的軟件分析功能,用于不同測量記錄之間的比較,且測量記錄可導出成Excel等格式的文檔;

◆具有薄膜應力3D繪圖功能。

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10分

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