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基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測(cè)量原理，采用先進(jìn)的矩陣激光點(diǎn)陣掃描方式和探測(cè)技術(shù)，以及智能化的操作，使得FST2000薄膜應(yīng)力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的曲率半徑和應(yīng)力測(cè)量。
獨(dú)特的雙模掃描模式方便適應(yīng)不同應(yīng)用場(chǎng)景下需求：Mapping不同區(qū)域的薄膜應(yīng)力分布或快速表征樣品整體平均殘余應(yīng)力。
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