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產品特點：
? 400波長以上多通道分光的橢偏儀，高速測量橢圓偏光光譜。
? 自動變更反射測量角度，可得到更詳細的薄膜解析數據。
? 采用正弦桿自動驅動方式，展現測量角度變更時優(yōu)異的移動精度。
? 搭載薄膜分析所需的全角度同時測量功能。
? 可測量晶圓與金屬表面的光學常數(n:折射率、k:消光系數)。
產品規(guī)格：
| 樣品對應尺寸 | 100×100mm |
| 測量方式 | 偏光片元件回轉方式 |
| 入射/反射角度范圍 | 45～90o |
| 入射/反射角度驅動方式 | 反射角度可自動變更 |
| 波長測量范圍 | 300～800nm |
| 分光元件 | Poly-chrometer |
| 尺寸 | 650（H）×400（D）×560（W）mm |
| 重量 | 約50kg |
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