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PS4L 半自動探針臺
SemiProbe是美國一家**的專業(yè)探針臺研發(fā)與制造公司，擁有多項(xiàng)**技術(shù)，提供完整的所有探針測試的產(chǎn)品與解決方案。其產(chǎn)品包括全自動，半自動，手動探針臺，MEMS測試探針臺，雙面測試，超低溫，高真空探針臺等等。SemiProbe 設(shè)計(jì)制造創(chuàng)新性模組化探測檢測系統(tǒng)，客戶遍及世界各地，其中包括大專院校、政府科研實(shí)驗(yàn)室、各類半導(dǎo)體制造公司、涉及微機(jī)械、納米技術(shù)、光電技術(shù)、光伏技術(shù)等領(lǐng)域，為科研以及制造提供經(jīng)濟(jì)高效、實(shí)用、擴(kuò)展性強(qiáng)的探測系統(tǒng)。同時(shí)SemiProbe還為用戶提供強(qiáng)有力的技術(shù)支持，可針對用戶的具體應(yīng)用需求，定制相對應(yīng)的產(chǎn)品和技術(shù)方案。
我們有可以解決您所面臨問題的一套**的方案，PS4L 全自動探針臺是基于SemiProbe可適應(yīng)性機(jī)構(gòu)**研發(fā)的一套系統(tǒng)，與傳統(tǒng)檢測系統(tǒng)不同，PS4L 全自動探針臺所有的基礎(chǔ)組件：基座、平臺、夾具、顯微鏡裝置、顯微鏡移動、光學(xué)部件、操縱裝置等，都是可以更換的。這些特征使得PS4L 全自動探針臺可適應(yīng)不同應(yīng)用需求，并且成為節(jié)省經(jīng)費(fèi)的**選擇。這種獨(dú)特的設(shè)計(jì)能夠準(zhǔn)確滿足客戶的要求，更重要的是，PS4L系統(tǒng)能夠進(jìn)行現(xiàn)場升級，以適應(yīng)環(huán)境測試條件的改變。PS4L系統(tǒng)的設(shè)計(jì)理念，與傳統(tǒng)檢測設(shè)備相比，能夠讓客戶節(jié)約更多時(shí)間，更多成本。
憑借60年的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，美國品牌SemiProbe可以迅速為您提供各種定制化方案，以解決不同的難題。我們的宗旨就是讓客戶使用*少的資金獲得**的技術(shù)、更及時(shí)的響應(yīng)市場需求。
SemiProbe產(chǎn)品的獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)有：
1.SemiProbe****技術(shù)的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以使探針臺在一個(gè)基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級，且升級可在客戶現(xiàn)場進(jìn)行，機(jī)臺不需返廠。其中PS4L系列產(chǎn)品，可以在PS4L基礎(chǔ)平臺上，由手動探針臺升級為半自動探針臺，半自動探針臺升級為全自動探針臺，或者由6''升級為8''，8''升級為12''，增加密閉測試倉，增加高低溫等等。這些獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，目前在業(yè)界獨(dú)此一家。
2.SemiProbe的產(chǎn)品，全部都在美國本土設(shè)計(jì)制造。
3.SemiProbe的另外一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是直流探針座和RF探針座通用，用戶只要一種探針座，換上直流或RF探針，即可做不同的測試，既方便又節(jié)省成本。目前業(yè)界其他公司的產(chǎn)品，多數(shù)直流探針座和RF探針座是不一樣的，并且價(jià)格昂貴，無法通用。其超高精度的亞微米級探針座，保證了高端精密測試的需求。
產(chǎn)品優(yōu)勢：
1.可滿足**18英寸的晶圓基底的測試要求，并能兼容處理12/8/6/4英寸硅片及碎片。
2.主要應(yīng)用領(lǐng)域：器件性能、MEMS、光電子學(xué)、納米研究、光伏電池、失效分析及材料等相關(guān)領(lǐng)域。
3.可做直流和微波測試。
4.系統(tǒng)可在客戶現(xiàn)場升級。
5.可增加高低溫及屏蔽系統(tǒng)
6.手動探針測試方式，扎針對準(zhǔn)方式靈活。
7.可方便搭載loadpull， 激光測振及電學(xué)信號測試等不同的外圍設(shè)備。
8.可搭載各種規(guī)格探卡。
9.主要部件可依據(jù)實(shí)際要求定制。
PS4L 半自動探針臺
SemiProbe的PS4L 半自動探針臺是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)*明顯和*靈活的半自動探針臺。它采用了SemiProbe****技術(shù)Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了****的靈活性和大大地為客戶節(jié)省了資金費(fèi)用。PS4L 半自動探針系統(tǒng)可滿足客戶對精準(zhǔn)的規(guī)格參數(shù)的要求。
產(chǎn)品特征和優(yōu)勢：
1.150mm半自動系統(tǒng)可升級到200mm
2.可選尺寸：100 mm (SA-4) 150 mm (SA-6) 200 mm (SA-8) 300 mm (SA-12)
3.所有關(guān)鍵部件都是可以更換的，這樣確保了系統(tǒng)可再配置符合現(xiàn)在和以后的各種應(yīng)用和預(yù)算要求。
4.軟件和硬件模塊提供了**性的現(xiàn)場升級
主要應(yīng)用：
設(shè)備特性，MEMS，光電，光伏，HF /微波，失效分析，研究，材料科學(xué)等領(lǐng)域
技術(shù)參數(shù)
| 尺寸: | 750 mm X 650 mm X 750 mm (29.5” x 25.4” x 29.5”) (W，H，L) – with optics |
| 重量: | 95 Kg (210 lbs.) |
| 夾盤平臺X-Y移動: | Travel: 155 mm x 155 mm Speed: 50 mm/sec (max) Resolution: 0.5 μm Repeatability: +/- 1.0 μm A ccur acy: +/- 2 μm Planarity: +/- 10 μm over travel r ang e Nema 17 stepper motor Optical linear encoder |
| 夾盤平臺Z移動: | Z Travel: 10 mm Resolution: 1.0 μm Repeatability: +/-2.5 μm |
| Theta移動: | T r a v el: +/-10 degrees (User specified) Resolution: 0.29 arc-secs， (0.0018 deg r ees) |
| 夾盤： | V acuum or mechanical clamping， round or square， ambient， thermal and cus t om Handle die， waffle packs， sawn wafers on frame， broken wafers and full wafers up to 200 mm Nickel plated steel with concentric vacuum rings (standard)， other plating materials available Planarity: 8 μm |
| 壓盤： | Aluminum with stainless steel top 360 degree manipulator placement Manipulator fixation – magnetic， vacuum |
| 壓盤移動： | Platen Lif t : Choice of fixed or adjus t able A djus t able: Coarse – 25 mm， Fine – 6 mm |
| 顯微鏡安裝/移動： | Mounting – Boom， Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm， 50 x 75 mm， 100 x 100 mm |
| 光學(xué)： | Stereo Zoom， Zoom T ube， A-Zoom or Compound Microscope |
| 其它工具： | Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A V acuum: 23 Hg or -0.8 bar |
備注：規(guī)格參數(shù)的數(shù)值取決于探針系統(tǒng)的配置和配件要求
暫無數(shù)據(jù)！
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