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儀器簡介：
此系統通過手動或自動方式實現對材料表面的點電阻或面電阻進行測量表征，可通過圖譜，數據，2D或3D方式體現；儀器與電腦連接使用，可通過專業軟件進行控制，分析。表面電阻(ohm/sq)，電阻率（ohm.cm)測試理想的工具。
廣泛應用于半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏。。。
技術參數：
面電阻測量：
- 測量模式 : 接觸式 4-探針
電阻率測量：
- 測量模式 : 接觸式 4-探針 (可輸入厚度)
軟件系統：
- 測量條件靈活 : Wafer type， 點間隔測量， etc.
- 儲存& 下載 : 數據， wafer 型， 測試點， etc.
- 數據分析 : 2D， 3D mapping， data map， etc.
- On/Off : 電腦操控， 真空
- 數據 & mapping 可打印
測量模式 (S/W)
-自動檢測: Point interval designation by user
-快速檢測 : ASTM & SEMI Mode
-點測量: Appointment on wafer by mouse
-手動檢測 : Appointment on wafer by arrow key
主要特點：
-X，Y，Z-軸全自動控制系統
-自動& 手動范圍可選
-樣品臺尺寸可根據客戶訂制
-通過PC進行控制
-數據分析 (2D， 3Dmap etc)
-ASTM & SEMI 快速測量模式
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