參考價(jià)格
面議型號(hào)
晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM品牌
致真精密產(chǎn)地
安徽樣本
暫無生產(chǎn)能力：
-空氣速度：
-輸送能力：
-輸送距離：
-工作原理：
其他看了晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM的用戶又看了
留言詢價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
晶圓真空傳輸平臺(tái)采用四邊形、六邊形或八邊形設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)工藝室的互聯(lián)，系統(tǒng)可選配機(jī)械臂和校準(zhǔn)裝置，可實(shí)現(xiàn)8或12吋晶圓的自動(dòng)傳輸。系統(tǒng)搭配控制軟件可實(shí)現(xiàn)安全可靠的控制。
性能參數(shù)
晶圓尺寸 | 8或12吋 |
| 極限真空 | 優(yōu)于5×10-7mbar |
| 前端模塊 | 可選EFEM等 |
| 對(duì)接口 | 四個(gè)，六個(gè)，八個(gè)（可實(shí)現(xiàn)多套互聯(lián)） |
| 機(jī)械臂 | 可選單臂和雙臂，定位精度±0.1mm |
| 校準(zhǔn)裝置 | 對(duì)準(zhǔn)器，校準(zhǔn)傳感器 |
| 真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵+分子泵，可選離子泵等 |
| 控制系統(tǒng) | PC+PLC 安全互鎖，碰撞保護(hù),真空互鎖等 |
| 標(biāo)準(zhǔn) | SEMI |
暫無數(shù)據(jù)！
晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM的工作原理介紹？晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM的使用方法？晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM多少錢一臺(tái)？晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM使用的注意事項(xiàng)晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM的說明書有嗎？晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM的操作規(guī)程有嗎？晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM有現(xiàn)貨嗎？晶圓真空傳輸平臺(tái)—VTM包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
