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超高真空管道傳輸設備品牌
致真精密產(chǎn)地
安徽樣本
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生產(chǎn)型磁控濺射設備是針對生產(chǎn)企業(yè)實驗室和產(chǎn)線研發(fā)的一系列高性能、高效率的磁控濺射裝備。MSI-200型磁控濺射設備采用多個真空腔室互聯(lián)的設計，通過Cluster內置的三維機械手實現(xiàn)晶圓的傳輸，可搭配多個濺射室或處理腔室，適用于生產(chǎn)產(chǎn)線或實驗線。
性能參數(shù)
晶圓尺寸 | 8吋向下兼容 |
| 極限真空 | 優(yōu)于5×10-10mbar |
| 對接口 | 每節(jié)管道可連接一套系統(tǒng)，對接口CF250及以下。 |
| 傳輸裝置 | 磁力傳輸，可同時傳輸多片 |
| 進樣室 | 可選配獨立進樣室 |
| 校準裝置 | 光電傳感器 |
| 真空系統(tǒng) | 機械泵+分子泵，可選離子泵等 |
控制系統(tǒng) | PC+PLC 安全互鎖，碰撞保護,真空互鎖等 |
暫無數(shù)據(jù)！
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