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生產型磁控濺射設備—MSI-100-HV品牌
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MSI-100-HV生產型磁控濺射設備是針對企業和高校實驗室以及小試線研發的高性能、低成本和高效率的磁控濺射裝備。它采用簡單可靠的模塊化設計，包括進樣室和濺射室，可滿足8inch晶圓上納米級材料的生產制備需求，具有穩定、可靠、成本低的特點。
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