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性能特點:
?采用特殊材質反應腔,能耐高溫
?高品質單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長
?使用高精度氣體流量計,高穩定性
?采用純凈的石英窗
?設備安全性高、可靠性強、重現性好
?方便工藝人員沉積工藝的研發和優化
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產品質量
售后服務
易用性
性價比
紅外氣體傳感器 Gasboard-2060
CVD 真空化學氣相沉積設備
等離子體增強化學氣相沉積系統CVD
XRD系列晶向定位
紅外快速退火爐系統
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