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主要用于半導體行業(yè)，輸送各類液態(tài)前驅體生產(chǎn)材料至生產(chǎn)機臺；具有安全，可靠，不間斷供液，可對測漏，循環(huán)吹掃等子程序進行參數(shù)設置等特點；液體前驅體輸送系統(tǒng)作為完全國產(chǎn)化的設備，具有完全自主的知識產(chǎn)權，穩(wěn)定生產(chǎn)和強大的技術團隊跟進售后服務的優(yōu)勢。
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