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微型熱沉積系統
Description:
●尺寸:600(W)x1015(D)x1800(H)
●真空室:350(D) x 440(H)
●可實現<+/-3%的均勻沉積
●極限壓力 ≤5E-7Torr
●襯底大小:3”
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