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影響
當氧存在于晶體硅中時，在后續的熱處理過程會使氧發生偏聚和沉淀，形成氧沉淀、氧施主等缺陷。
氮元素在硅材料中濃度超標時會產生Si3N4顆粒，導致細晶的產生，進而影響太陽能電池的性能。
GDMS
氣體元素
GDMS靈敏度非常高，采用液氮制冷的方式，把離子源維持在低溫環境中，可以有效降低輝光放電室中的干擾分子，同時提高輝光放電的穩定性，降低熱效應所造成的基體效應，GDMS擁有高真空度，可達1.0E-9mbar及以下，氣體背景非常低，氣體元素檢出限可以達到10個 ppb級別。
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