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MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內，就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構，極大提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
產品優勢▼
在非常短的時間內獲得數以千計的晶圓片的統計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產。
適用于測量晶圓片的材料質量，以及識別晶圓片層面的結晶問題，例如在光伏行業。
適用于擴散過程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。
Si3N4 and SiC segregates in multi-crystalline silicon
Microcrystalline inclusions
Investigation of passivation quality...
Cz-Si with bulk defects， separation...
樣品厚度 | 100 μm up to 1 mm |
樣品尺寸 | 在125 x 125 和210 x 210 mm2 之間，或 4”到18” |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
傳導類型 | p， n |
材質 | 硅晶圓，部分或完全加工的晶圓片，化合物半導體等 |
測量性能 | 少數載流子壽命（穩態或非平衡(μ-PCD)可選擇的） |
測量位置 | 默認2.8 mm， 其它可選 |
檢測時間 | 獲得完整的一張晶圓圖時間小于1秒 |
尺寸 | 400 x 400 x 450 mm，重量：29 kg |
電源 | 24 V DC， 4 A |
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移動端
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