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美國Cascade EPS探針臺
美國Cascade EPS探針臺

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美國

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上海納騰儀器有限公司

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儀器簡介:

Cascade Microtech 的 EPS系列測量平臺是一款結構簡單、高精確度、多功能、及高性價比的150mm基準的探針臺,解決了一系列的測量難題。該探針臺采用了一種模塊化設計,提供了眾多的配置可能性,旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測量的需要。您可以通過確定*適合自己當前需要的 EPS模塊來設計特有的探針臺,或對自己現有的 EPS進行升級以滿足未來的測量需求。

優越的應用靈活性使得EPS能滿足DC和RF測量、器件和晶圓表征測試(DWC)、失效分析(FA)、亞微米探測、MEMS和光學工程測量;EPS也能用作一個靈活的探頭卡,實現wafer級的可靠性應用(WLR),能同時配備多達20個探針座。

技術參數:

基座 基本尺寸 Z軸可移動范圍

標準平臺 490mm x 490mm×480mm 10mm

X-Y-θ平臺 XY范圍 *小步長 θ范圍 晶圓范圍

EP6標準平臺 155mm x 155mm 5μm 360° 6寸

主要特點:

1. 結構簡單、多功能;

2. 平臺配置可滿足DC、RF測量;

3. 獨特的模塊化設計可根據客戶的需要配置和升級;

4. 量程大、可配暗箱、CCD等配件;

擴展功能:

1、射頻頭部;

2、探針卡端口;(出廠前配置)

3、光電屏蔽箱;

4、CCD視頻系統;

5、溫控模塊;(常溫-300℃可選)

6、EPS_FA可配置激光等。

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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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