非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
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設備性能指標 | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路數 | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 6-12寸 |
4 | 適用工藝 | 擴散（磷擴、硼擴）、氧化、退火、合金、鋁預沉積 |
5 | 溫度校準功能 | 具有自動校準溫區功能，具有預先寫入偏差值快速拉溫區功能 |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
7 | 控制系統結構 | 一體工控機+PLC |
8 | 報警保護: | 具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能 |
設備主要特點和優勢
1★具有強大的操作功能，windows界面，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態；配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間；
2★采用可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據工藝手動升溫，節省工藝時間；
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