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臥式LPCVD低壓氣相沉積爐品牌
育豪微電子產地
山東樣本
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一．設備概述：
LPCVD低壓化學氣相淀積設備是半導體集成電路制造的重要工序之一，本設備主要用于：4-8英寸硅片SiO2-LTO TEOS、SIPOS-含氧多晶硅、SI3N4-氮化硅、BPSG-磷硅玻璃、POLY-多晶硅、TEOS-氧化硅薄膜的生長。它是將原材料氣體（或者液態源氣化）用熱能激活發生化學反應而在基片表面生成固體薄膜。低壓化學氣相淀積是在低壓下進行的，由于氣壓低，氣體分子平均自由程大,使生長的薄膜均勻性好,而且基片可以豎放而裝片量大，特別適用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的工業化生產專用設備，采用電腦工控機軟件控制方式，是其性能技術指標已經達到國際先進技術水平。
二．設備類型參數：
設備性能指標 | ||
1 | 操作方式 | 根據客戶操作可定左/右手操作 |
2 | 管路數 | 1-5管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-8寸 |
4 | 適用工藝 | SiO2-LTO TEOS、SIPOS-含氧多晶硅、SI3N4-氮化硅、BPSG-磷硅玻璃、POLY-多晶硅、TEOS-氧化硅 |
5 | 淀積薄膜均勻性 | IW≤2%，W2W≤3%，R2R/D2D≤3% |
6 | 溫度校準功能 | 具有自動校準溫區功能，具有預先寫入偏差值快速拉溫區功能 |
7 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
8 | 控制系統結構 | 一體工控機+PLC |
9 | 系統極限真空度： | 10 mTorr |
10 | 工作壓力范圍： | 10 mTorr~500mTorr可調 |
11 | 報警保護: | 具有超溫報警，斷偶報警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能 |
三、設備主要特點和優勢
1★具有強大的操作功能，windows界面，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態；配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間；
2★采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門等進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據工藝手動升溫，節省工藝時間；
4★具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償，避免環境溫度變化，對爐膛溫度產生影響，避免層間干擾；
6★推拉舟裝載采用SIC懸臂漿，避免與工藝管摩擦產生粉塵，推拉舟運行完一個周期，自動校準位置，有效防止定位偏差；
7★氣體流量采用數字化精確控制，采用模擬信號閉環控制，強弱電分開，各種數據交互采用標準總線，提高抗干擾能力，保證數據安全；氣體打開具有緩啟動功能；
8★具有多種報警功能及安全保護功能；
9★恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
三、設備主要特點和優勢
1★具有強大的操作功能，windows界面，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態；配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間；
2★采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門等進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據工藝手動升溫，節省工藝時間；
4★具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5★冷端采用PT100檢測環境溫度進行溫度補償，避免環境溫度變化，對爐膛溫度產生影響，避免層間干擾；
6★推拉舟裝載采用SIC懸臂漿，避免與工藝管摩擦產生粉塵，推拉舟運行完一個周期，自動校準位置，有效防止定位偏差；
7★氣體流量采用數字化精確控制，采用模擬信號閉環控制，強弱電分開，各種數據交互采用標準總線，提高抗干擾能力，保證數據安全；氣體打開具有緩啟動功能；
8★具有多種報警功能及安全保護功能；
9★恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度；
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