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砷化鎵單晶生長爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 手動 |
2 | 管路數(shù) | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-6寸 |
4 | 適用工藝 | VGF/VB 工藝 |
5 | 控溫精度 | ±0.2℃/＞1280℃恒溫區(qū)內(nèi) |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
7 | 控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 一體工控機(jī)+PLC |
8 | 報(bào)警保護(hù): | 具有超溫報(bào)警，斷偶報(bào)警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能 |
暫無數(shù)據(jù)！
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