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高真空管式爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 工位數(shù) | 1-2管（可依據(jù)實(shí)際生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)） |
2 | 額定溫度 | 900℃ |
3 | 工藝溫度 | 500℃-800℃ |
4 | 加熱溫區(qū)段 | 3-5段獨(dú)立控溫，（可依據(jù)實(shí)際生產(chǎn)工藝設(shè)計(jì)） |
5 | 系統(tǒng)極限真空度 | ≤5*10-4Pa |
暫無數(shù)據(jù)！
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