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AR6100RR 全自動環切機
主要特點:
▏多軸聯動環切技術,保證環切精度。
▏定制化工作臺設計,保證TAIKO工藝下晶圓特殊結構穩定加工。
▏四工位,多片協調加工,加工效率高。
▏全自動上下料、傳輸定位、清洗 、解膠、取環,實現全自動運行模式,大大降低OP工作量。
▏穩定的TAIKO外環解膠和取環。
▏兼容性好,與市面上的其他類型設備,關鍵耗材兼容性高。
▏便捷的操作和人機交互界面。
先進功能:
? 掉環檢測功能;
?工作臺自動清洗功能;
?智能UV解膠系統;
? 操作日志記錄功能;
?二流體清洗功能;
?真空預警與真空管路去水功能;
?搬運撞擊檢測功能;
? 條形二維碼識別功能;
? *工廠自動化模塊;
? *軟件定制。
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